single-source predeposition

1) загонка домішки (перша стадія двохстадійної дифузії) 2) попереднє осадження - single-source predeposition

1) дифузія 2) рідк. дифузійна область - diffusion from а planar source
- ampoule diffusion
- back diffusion
- base diffusion
- base-and-resistor diffusion
- blanket diffusion
- box diffusion
- B&R diffusion
- channel diffusion
- closed-tube diffusion
- collector reach-through diffusion
- contact diffusion
- cross diffusion
- doped-polysilicon diffusion
- double diffusion
- drain and source diffusion
- drive-in diffusion
- enhanced diffusion
- error-function diffusion
- floating diffusion
- gaseous diffusion
- gas-phase diffusion
- gas-source diffusion
- guarding diffusion
- in diffusion
- inlerfacial diffusion
- interstitial diffusion
- laser-assisted diffusion
- laser-enhanced diffusion
- lateral diffusion
- liquid-phase diffusion
- masked diffusion
- multiple diffusion
- n-type diffusion
- one-step diffusion
- open-tube diffusion
- out diffusion
- oxidation-enhanced diffusion
- oxide-masked diffusion
- pipe diffusion
- planar diffusion
- predeposition diffusion
- proton-enhanced diffusion
- p-type diffusion
- selective diffusion
- separation diffusion
- shallow diffusion
- sideways diffusion
- single diffusion
- solid-state diffusion
- solid diffusion
- substitutional diffusion
- substrate diffusion
- tail diffusion
- vapor-phasediffusion
- vapordiffusion